螺桿真空泵·干式螺桿真空泵

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螺桿真空泵·干式螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，螺桿真空泵是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，在國內制藥、化工、半導體等對清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應用。

螺桿真空泵的用途
兩螺桿經(jīng)精細動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無(wú)需潤滑油，因此，干式螺桿真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
本產(chǎn)品的自主創(chuàng )新性，產(chǎn)品質(zhì)量及價(jià)格都具有很強的市場(chǎng)競爭力，可大范圍替代進(jìn)口產(chǎn)品，市場(chǎng)需求量大，將在化工、冶金、電子、石油、航空航天、工具、造紙、包裝、食品、醫藥、醫療器械、以及信息工程、生物工程、微電子等100多個(gè)領(lǐng)域全面取代目前技術(shù)含量較低的真空設備。

螺桿真空泵的優(yōu)點(diǎn)
目前各種真空泵的發(fā)展愈來(lái)愈受到真空應用場(chǎng)合的影響，一般的真空系統無(wú)法滿(mǎn)足清潔無(wú)油及耐腐蝕的要求，因此近年來(lái)干式真空泵市場(chǎng)需求量很大,真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統已被無(wú)油清潔的真空系統所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結構簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(cháng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)得以廣泛應用。
干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設備，日本在螺桿壓縮機基礎上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉子型線(xiàn)，并投入市場(chǎng)。德國幾家真空設備公司也逐步的開(kāi)發(fā)出了等螺距、變螺距轉子型線(xiàn)，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進(jìn)入批量化生產(chǎn)，在化工制藥等行業(yè)得到很好的應用。

螺桿真空泵性能特點(diǎn)
1、工作腔內無(wú)任何介質(zhì)，可獲得清潔真空
2、工作腔及螺桿轉子表面有防腐涂層，可適應惡劣工況
3、氣體在泵內無(wú)壓縮，適宜抽取可凝性氣體
4、單臺泵可從大氣抽至1Pa，真空系統可大大簡(jiǎn)化。
5、水溫對真空影響小，節水達90%以上,甚至可以不耗水。
6、不耗油,無(wú)滴漏
7、旋轉部件間無(wú)摩擦,可高速運轉,整機體積小
8、結構簡(jiǎn)單，維護方便。
9、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無(wú)環(huán)保壓力，氣體回收更便捷。
10、可與羅茨泵、分子泵組成無(wú)油機組

螺桿真空泵的結構
傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉子，通過(guò)同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉子旋轉，在殼體上開(kāi)有冷卻水通道，用來(lái)冷卻轉子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內部通過(guò)密封件來(lái)密封以達到無(wú)油的效果。干式螺桿真空泵同無(wú)油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類(lèi)似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進(jìn)氣側通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上，目前通用的是直連電機，用聯(lián)軸器與轉子連接，極少數用皮帶或者傳動(dòng)鏈傳動(dòng)。 等螺距螺桿泵由于無(wú)內壓縮過(guò)程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會(huì )造成轉子和機殼變形，影響抽氣效果。冷卻機殼是必不可少的一個(gè)環(huán)節，水冷是最常見(jiàn)的方法，在機殼本體、軸承外側通冷卻水，可以達到冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉子的目的。

螺桿真空泵工作原理
與螺桿式壓縮機類(lèi)似，螺桿式干式真空泵的工作過(guò)程可分為吸氣、壓縮和排氣三個(gè)過(guò)程。隨著(zhù)轉子的旋轉，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán)，現在以其中一對齒來(lái)說(shuō)明。
吸氣過(guò)程
陽(yáng)轉子按逆時(shí)針?lè )较蛐�轉，陰螺桿按順時(shí)針?lè )较蛐�轉。圖中上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
壓縮過(guò)程
轉于端面是排氣端面。在這里，陽(yáng)轉子沿順時(shí)針?lè )较蛐�轉，陰轉于沿逆時(shí)針?lè )较蛐�轉。圖中上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
排氣過(guò)程
螺桿泵的排氣過(guò)程，齒間容積與排氣孔口連通后，即開(kāi)始排氣過(guò)程。隨著(zhù)齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過(guò)排氣孔口被排出，

國內外生產(chǎn)概況
1、國內螺桿真空泵的企業(yè)，從2004年起便開(kāi)始進(jìn)行型線(xiàn)與結構性能方面的研究。在2007年國內干式螺桿真空泵的市場(chǎng)基本被國外廠(chǎng)家占據的時(shí)候，國內公司投入大量資金將該產(chǎn)品轉入批量化的生產(chǎn)，并得到國家的大力支持獲得各類(lèi)省級國家級科技獎項和資金。DP干式螺桿真空泵極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/噴射式/水環(huán)式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，在國內各大制藥和化工企業(yè)得到大量應用。針對不同工藝條件，其過(guò)流部件（即轉子和泵體等與氣體接觸的部分）均有防腐涂層，包括鎳磷涂層和PTFE兩種。
2、德國和日本公司在1999年底正式推出的螺桿式無(wú)油壓縮真空泵是一種專(zhuān)門(mén)為工業(yè)應用(非半導體應用)設計的干式泵，它是一種全新的設計，是專(zhuān)門(mén)用來(lái)解決工業(yè)應用中艱苦的真空問(wèn)題，如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉子，有內壓縮過(guò)程，泵腔內無(wú)軸承和密封，大大降低了故障率，泵腔內沒(méi)有內部閥門(mén)，因而耐粉塵和焦油能力強，此泵的螺桿采用內部中空冷卻，可以降低轉子溫度和熱變形，螺桿壽命長(cháng)。

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